Описание

Очистка полупроводниковых структур

Способ и устройство очистки полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений.

Thank you for reading this post, don't forget to subscribe!

Проведен патентный поиск по рефератам и описаниям изобретений РФ за период 1994 – 2005гг.

Проанализировано 196 изобретений, из которых в отчет включено 11 документов. Составлен график патентной активности.