Описание

Способы очистки твердых тел от молекулярных загрязнений. Проведен патентный поиск по России. Ретроспективность поиска 1980 – 2003 гг. Содержит 28 документов.

На фабриках по производству полупроводников микрозагрязнение может стать сложной проблемой Взвешенное в воздухе молекулярное загрязнение приобретает все более высокое значение в процессах производства по мере того, как ужесточаются технические требования, а размер устройств уменьшается. Поиск содержит технические решения для контроля взвешенного в воздухе молекулярного загрязнения для его снижения.

Такие решения обеспечивает защиту на реальных производствах полупроводников, в основном, для нанесения тонких пленок.

Пожалуйста, оставьте это поле пустым.

Не пропустите эту рассылку!

Мы не спамим! Прочтите нашу политику конфиденциальности, чтобы узнать больше.

Проверьте ваш почтовый ящик или спам, чтобы подтвердить свою подписку.