Описание

Способ и устройство очистки полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений. Проведен патентный поиск по рефератам и описаниям изобретений РФ за период 1994 – 2005гг. Проанализировано 196 изобретений, из которых в отчет включено 11 документов. Составлен график патентной активности.

Пожалуйста, оставьте это поле пустым.

Не пропустите эту рассылку!

Мы не спамим! Прочтите нашу политику конфиденциальности, чтобы узнать больше.

Проверьте ваш почтовый ящик или спам, чтобы подтвердить свою подписку.