Описание

Устройство для измерения параметров тонкопленочных элементов

Устройство для измерения параметров тонкопленочных элементов, позволяет увеличить чувствительность устройства к неравномерности параметров тонкопленочных элементов по площади подложки в процессе их осаждения.

Thank you for reading this post, don't forget to subscribe!

Проведен патентный поиск по следующим странам: США, Россия, Франция, Германия, Япония. Ретроспективность поиска 1965 – 1985гг. Содержит 8 документов.